单晶局部彩色氧化
各位大虾:请帮忙分析一下这是怎么回事。单晶头部20cm及单晶尾部15-20cm正常用,中间一段出现很严重的氧化,全部彩色状,冷、热检都
正常,打开炉子,也没有发现过多的氧化物堆积,真空泵运行正常,氩气正常。从表面上看一点问题都没有,
而且氧化的情况是一炉氧化,第二炉正常,过几炉又氧化。 真空泵/氩气故障。 这个问题我们以前出现过~!主要是真空泵和氩气的问题~!氩气有微漏现象~!重点检测下氩气管道及真空泵。 这个肯定是炉子有漏气现象,但是有些时候检查不出来,这种情况也不是一次两次出现过,拉晶老手经常会碰到,兄弟是开化人? 是的,你也是开化人? 有时热场排气不好也会出现同类问题,但整根的比较多。局部的话还是检查下氩气和真空泵吧·这个问题高点 真空泵过滤罐的滤网要经常更换。 这个问题我们以前出现过~!主要是真空泵和氩气的问题 明显漏气现象啊:) 石英埚与石墨埚反应严重?
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