ztjy2008
发表于 2011-6-24 09:18:55
多晶电池片在刻蚀去PSG后,背面边缘部分发黄是什么原因?
多晶电池片在刻蚀去PSG后,背面边缘部分发黄是什么原因?
118003016
发表于 2011-6-29 02:01:37
可能有药液残留
chengxinshijin
发表于 2011-7-9 22:01:43
你可以测试下漂洗槽的PH值
qiuyucsx
发表于 2011-8-10 21:09:54
可能是碱的问题
zhaoff2005
发表于 2011-8-26 08:37:14
可能是酸残留。
xyd0209
发表于 2011-9-14 09:30:33
很可能是去PSG时未清洗干净,硅片上有残留药液,看看最后的水洗槽是不是出问题了……
Mr__Chen
发表于 2011-12-27 11:10:18
多孔硅????????
/:Z拯救
发表于 2012-5-21 00:04:02
磷硅玻璃不是多孔硅
菓唲彵夿
发表于 2012-6-6 16:43:44
主要原因为扩散后,背面周边有一层磷硅玻璃,影响反应速度!
permanentlich
发表于 2012-6-14 11:53:34
片子上肯定有酸残留!
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