zyn-nku
发表于 2012-5-2 10:24:37
SiN 湿法刻蚀
光刻法做电池电极的时候，SiN的刻蚀常用什么溶液？谢谢！
菓唲彵夿
发表于 2012-6-6 16:37:26
氢氟酸啊！
wokaoman
发表于 2012-11-2 09:41:07
是湿法刻蚀，还是光刻啊，湿法刻蚀用的是HF,H2SO4，HNO3、HCL的混合液体
lafel
发表于 2012-11-8 12:24:15
光刻什么东西？
jay77_0_0
发表于 2014-1-7 14:02:44
氮化硅刻蚀一般使用热磷酸。
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