憧憬未来
发表于 2009-3-18 17:17:44
请教师傅解决个问题,非晶硅成积后掉膜的原因
非晶硅沉积后掉膜是怎么会事???有那些因素造成的??``希望有高手能给予解答``再次谢过!!
fengzhixin
发表于 2009-3-24 08:27:16
沉积盒不干净擦盒有问题
fengzhixin
发表于 2009-3-24 08:45:10
沉积盒不干净,或在清洗时二氧化锡清洗不干净也有可能
憧憬未来
发表于 2009-3-26 11:41:47
沉积盒 二氧化锡都没问题呢??没有其他的?
wdmxwaj
发表于 2009-6-25 02:16:56
非晶硅表面污染;沉积膜质量
josszhang
发表于 2009-7-24 16:55:16
非晶硅表面污染
页:
[1]