论坛首页 › 【单晶制备】 › 单晶硅棒切成片后，片上有些有孔洞，那位知道这些形成的原因

liu_he001 发表于 2009-5-25 22:56:39

单晶硅棒切成片后，片上有些有孔洞，那位知道这些形成的原因

请大家多多指教

光谷子 发表于 2009-5-26 07:30:43

这个与切片没有直接联系,主要是拉晶所致

haizhifeng99 发表于 2009-5-29 16:46:08

主要是棒子的问题

xiaoyonggenggxy 发表于 2009-6-18 21:52:43

硅料与工艺有问题
与切片没有问题

btsunny 发表于 2009-7-1 17:24:01

应该是是棒子的问题

chenlove1 发表于 2009-7-2 11:59:01

应为硅棒的问题，切片没有问题

daichangquan 发表于 2009-8-27 19:51:58

首先检查棒子是否有问题？片子是否翘曲？

xxss1234 发表于 2009-10-23 08:44:48

拉晶气孔，跟切片没关系

天门冬 发表于 2010-2-9 15:12:17

拉晶形成气孔缺陷，跟切片没关系

chaogai 发表于 2010-3-14 11:20:11

你切的单晶硅有硬质点呗？你的砂多少的！`

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