wanfer 发表于 2012-10-10 13:06:20

改良西门子法生产多多晶硅要用到的分析仪器

    有没有知道改良西门子法生产多晶硅都要哪些分析仪器啊？

wanfer 发表于 2012-10-12 15:36:33

请高手解答一下啊，谢谢了

wzyong123 发表于 2013-12-25 15:29:02

气相色谱、ICP-MS，ICP-AES，FTIR等
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